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I nostri impianti a plasma sono disponibili con i seguenti accessori/optional:
- generatore 13,56 MHz
- generatore 2,45 GHz (microonde)
- Controllo semiautomatico:
- controllo automatico
utilizzo semplice dell'impianto
- Sistema di controllo PC
semplice regolazione e documentazione dei processi
- filtro al carbone attivo
- filtro aspiratore per vuoto
- porta automatica
- lettore codice a barre
- misurazione tensione di bias
- valvola a farfalla
- tamburo rotativo
ad es. per il trattamento di materiale sfuso
- riduttore di pressione
- sistema di trasporto
- pacchetto di pezzi sostitutivi
- stampante etichette
- lettore etichette
- gabbia di Faraday
- immissione gas
per un dosaggio omogeneo di monomeri nel
processo di polarizzazione al plasma
- piastra di riscaldamento
- sensore per la misurazione della corrente ionica
- versione gas corrosivi
assolutamente necessaria per la polimerizzazione o in caso di immissione
di gas corrosivi
- vassoi specifici su misura
per un impiego ottimale dell'impianto
- camere a vuoto più lunghe (Femto, Pico, Nano, ...)
- bottiglia monomero
per facilitare il dosaggio di liquidi evaporabili
- attacco rete elettrica
- accessori per la polimerizzazione
- crogiuolo in vetro di quarzo
- elettrodi RIE
- sistema da rotolo a rotolo
ad es. per il trattamento di pellicole / lead-frames
- valvola di sicurezza
per le operazioni con gas infiammabili come ad es. idrogeno, etino, ecc
- elettrodi speciali e vassoi
- flangie speciali / aggiuntive
- software speciali
- camere a vuoto speciali
- misurazione temperatura
- test inchiostro
- camere a vuoto in vetro (borosilicato o quarzo)
- sistemi per pompe per vuoto
- dispositivo per trattamento con polveri
- contratto di manutenzione
- canali gas aggiuntivi
Nella maggior parte dei casi è possibile aggiungere optional.
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